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GORE?臭氧化模組由PTFE和PFA材料制成,具有高潔凈度。

就硅晶圓和半導(dǎo)體清洗工藝而言,業(yè)內(nèi)正在改用臭氧水處理方案。這種方案更環(huán)保,不涉及昂貴的廢物處理,成本比化學(xué)混合物清洗工藝更低??上驳氖?,戈爾公司(W. L. Gore & Associates)提供的GORE臭氧化模組比目前市場上的溶解臭氧方案更勝一籌,提供目前市場上更潔凈、無氣泡且濃度更高的臭氧水制備方案。戈爾模組久經(jīng)驗證,是改進(jìn)半導(dǎo)體晶圓清洗和平板顯示器制造工藝、更環(huán)保的可靠解決方案。

如需了解更多技術(shù)信息,請下載數(shù)據(jù)表或立即聯(lián)系戈爾銷售代表。